六氟化硫是一種無色、無嗅、無毒、不可燃的穩定氣體。它的化學分子式是SF6。其分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa下密度為6.1kg/m3，約為空氣的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃，在常壓下升華點溫度為-63.8℃。它的分子結構為八面體，鍵距短，鍵能高，因此穩定性很高。當溫度不超過180℃時，其與電氣結構材料的相容性與氮氣相似。
1.新一代超高壓絕緣介質材料作為一種良好的氣體絕緣材料，廣泛用于電子電氣設備的氣體絕緣。電子高純六氟化硫是一種理想的電子刻蝕劑，廣泛應用于微電子技術領域，在計算機芯片、液晶顯示屏等大型集成電路的制造中用作等離子體刻蝕和清洗劑。它在光纖制備中用作生產摻氟玻璃的氟源，在低損耗高質量單模光纖制造中用作隔離層的摻雜劑。也可用作氮準分子激光器的摻雜氣體。在氣象、環境檢測等部門用作示蹤劑、標準氣體或標準混合物。用作高壓開關中大容量變壓器的滅弧絕緣材料。它也可以用于粒子加速器和避雷器。由于其良好的化學穩定性和對設備的不腐蝕性，可用作制冷行業的制冷劑(工作溫度-45 ~ 0℃)。它也用于放射化學，因為它對α粒子有很高的阻擋能力。此外，它還被用作反吸附劑，以取代煤礦粉塵中的氧氣。
2.它可用于有色金屬的冶煉和鑄造過程，以及鋁及其合金熔體的脫氣和凈化。在微電子工業中，六氟化硫可用于刻蝕硅表面，去除半導體材料上的有機或無機薄膜，在光纖制造過程中可作為單膜光纖隔離層的摻雜劑。六氟化硫電流斷續器額定電壓高，不易燒毀。此外，六氟化硫還被用作各種加速器、超高壓蓄電池、同軸電纜和微波傳輸的絕緣介質。目前，六氟化硫是測量空氣污染廣泛使用的示蹤劑，示蹤距離可達100公里。六氟化硫化學穩定性好，不腐蝕設備。在制冷行業可作為制冷劑(工作溫度在-45℃至0℃之間)替代氟利昂。對臭氧層完全沒有損害，符合環保和使用性能要求，是一種極具發展潛力的制冷劑。用作電絕緣介質和滅弧劑，以及測量空氣污染程度的示蹤劑。
3.主要用于高壓開關中的滅弧，用作大容量變壓器和高壓電纜中的絕緣材料?？捎米骱肆Ｗ蛹铀倨鱔射線設備和避雷器的氣體絕緣材料。SF6具有良好的化學穩定性，對設備無腐蝕，可用作制冷行業的制冷劑(工作溫度在-45℃至0℃之間)。SF6對α粒子有很高的阻止能力，因此也被用于放射化學。它也可以作為一種反吸附劑來代替煤礦粉塵中的氧氣。
